【非标定制湘潭宏锋机械】ITO导电玻璃真空镀膜线 ITO膜镀膜生产线是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配以国际先进的控制系统,镀制SO2/ITO膜层,生产过程全部自动,连续进行。 ITO(Indium Tin Oxides)作为纳米铟锡金属氧化物,具有很好的导电性和透明性,可以切断对人体有害的电子辐射,紫外线及远红外线。因此,喷涂在玻璃,塑料及电子显示屏上后,在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配以国际先进的控制系统,镀制SO2/ITO膜层,生产过程全部自动,连续进行。ITO膜镀膜生产线技术特点 1) 真空室体材料采用 SUS304 ,真空室内壁进行抛光处理,外壁采用抛光后喷珠处理。 2) 真空室之间采用独立门阀—插板阀隔开,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。目前我们公司采用插板阀设计,它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好,更耐用。 3) 传动采用磁导向,**传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动,运行速度可调节。 4) 电气控制系统:触摸屏与 P L C 自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制技术参数 1) 极限真空压力:6× 1 0E-4 Pa 2) 平均生产周期:根据产品确定 3) 基片架尺寸:可以根据要求定做 4) 膜层均匀性: ± 3%先进的移动磁场技术大大提高了靶材利用率 分段式加热设计,有利于工艺优化。产品广泛地应用于液晶显示器(LCD)、触摸屏、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域